工信部推广国产氟化氩光刻机：分辨率≤65nm
据微信公众号“工信微报”消息，工信广国光刻近日，部推辨率工信部发布了《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。产氟四川某某设备制造厂
“工信微报”介绍道，化氩重大技术装备是机分国之重器，事关综合国力和国家安全。工信广国光刻中国首台（套）重大技术装备是部推辨率指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、产氟尚未取得明显市场业绩的化氩四川某某设备制造厂装备产品，包括整机设备、机分核心系统和关键零部件等。工信广国光刻
而观察者网注意到，部推辨率在《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》电子专用装备目录下，产氟集成电路设备方面：氟化氩光刻机，化氩光源193纳米，机分分辨率≤65nm，套刻≤8nm。
工信部网站
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